Процессы плазменного травления в микро и нанатехнологиях
Сарлавҳа Учебное пособие
Сарлавҳага тегишли маълумотлар
Сон(лари)
Муаллиф
В.А. Галперин
Мавзу
Чиқиш маълумотлари
Москва
2018
Саҳифалар сони
283 с.
Изоҳлар
Библиография
Мундарижа
Йиллик обуна
Аннотация
Учебное пособие предназначен для студентов вузов изучающих процессы микро и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.png){kind=small}
Книга