Процессы плазменного травления в микро и нанатехнологиях
Сарлавҳа Учебное пособие
Муаллиф
В.А. Галперин
Чиқиш маълумотлари
Москва
2018
Саҳифалар сони
283 с.
Аннотация
Учебное пособие предназначен для студентов вузов изучающих процессы микро и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.png){kind=small}
Книга