Процессы плазменного травления в микро и нанатехнологиях
ЗаглавиеУчебное пособие
Сведения, относящиеся к заглавию
Номер(а)
Автор
В.А. Галперин
Тема
Выходные данные
Москва
2018
Объем
283 с.
Примечания
Библиография
Содержание
Годовая подписка
Аннотация
Учебное пособие предназначен для студентов вузов изучающих процессы микро и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.png){kind=small}
Книга