Процессы плазменного травления в микро и нанатехнологиях
Sarlavha Учебное пособие
Sarlavhaga tegishli ma'lumotlar
Son(lari)
Muallif
В.А. Галперин
Mavzu
Chiqish ma'lumotlari
Москва
2018
Sahifalar soni
283 с.
Izohlar
Bibliografiya
Mundarija
Yillik obuna
Annotatsiya
Учебное пособие предназначен для студентов вузов изучающих процессы микро и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
.png){kind=small}
Книга